二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138479 待售
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ID: 9138479
晶圓大小: 4"-12"
Coater / Developer system, 4"-12"
Either silicon wafer substrate or LED sapphire substrate
Windows GUI scheduler software
Up to date Indutrial PC controller
High speed SATA SSD storage system with RAID feature
Wafer level recipe processing and command
Real time process log
Online communication (SECS/GEM)
Group monitoring
Either uni-cassette (open cassette) or SMIF (3 SUCs or 4 SUCs) Integrated CSB
Wafer flow modification (Left to right or Right to left)
Step/Scanner interface modification
Integrated photo resist dispense monitoring system
Integrated chemical dispense monitoring system.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8/ACT 12是TEL（TOKYO ELECTRON）設計的光刻設備，用於高精度光刻工藝。該系統包括兩個階段：ACT 8階段和ACT 12階段。ACT 8級是一個完整的抗蝕劑處理單元，在曝光前將光致抗蝕劑應用於基板。它配有雙洗滌器單元，在使用抗蝕劑之前清除基板上的任何汙垢和汙染。ACT 8還包括允許可編程配方控制的ASCII控制器，以及化學註入和化學溫度控制。ACT 12階段是一個臨界維度計量和抗烘烤單元，用於測量曝光後基板上任何模式的臨界維度。它還包括一個用於加熱和冷卻步驟的計時器和一個用於自動烘烤的加熱呼吸盤。ACT 12配備了多種最先進的檢測方法，以確保最大精度和可靠性。TEL Clean Track ACT 8/ACT 12機的兩個階段串聯工作，產生優異的抗性加工效果。其先進的技術提供了行業層面的精度和可靠性，使其成為高精度光刻工作的理想選擇。該工具配備了先進的安全功能，可在工作時針對各種環境條件提供卓越的防護。此外，TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8/ACT 12設計方便維護和維修，允許最大限度的上行時間和高效操作。總體而言，Clean Track ACT 8/ACT 12資產是一種先進可靠的光刻膠模型，適合最苛刻的光刻要求。它旨在提供卓越的準確性,同時最大程度地減少停機時間和汙染風險。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8/ACT 12具有可編程配方控制和自動烘烤等特點，是任何光刻應用的絕佳選擇。
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