二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是TEL所提供的光刻膠設備。它使用專有的幹磨砂技術，以高效率和準確的方式清潔和去除開發出的光刻膠殘留物。該系統采用高速旋轉刷子、真空抽取和超聲波振動的獨特組合，從基板上提升有機殘留物。該單元據說能夠以高均勻性、可重復性和準確性的方式，在一次通行證中完全清除有機殘留物。該機由清潔軌道洗滌器和清潔軌道真空工具兩個主要部件組成。Clean Track Scrubber是一個圓柱形的洗滌器單元，中央有刷頭。刷頭由電動機驅動逆時針旋轉，擦洗晶片表面，去除有機殘留顆粒。同時對晶片表面施加超聲波振動，進一步增強洗滌工藝，確保有機殘留物均勻清除。清潔軌道真空資產旨在提取洗滌器產生的碎片顆粒。它由真空室、排氣扇和電磁閥組成。當旋轉刷子旋轉時,顆粒從晶片表面被去除.然後真空室通過排氣扇和電磁閥捕獲並將其從模型中移出。TEL Clean Track ACT 8提供符合汽車、醫療和半導體行業最嚴格要求的專業級清潔性能。設備具有可調的刷速和增強的均勻性、重復性和準確性。它還提供了低停機時間,因為該過程可以快速高效地執行。此外，該系統還提供高水平的安全和環境性能，因為它旨在盡量減少對危險化學品的需求，同時遵守嚴格的環境法規。