二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162692 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是為半導體晶圓光刻等應用而設計的光刻設備。它是一種先進的設計，改進了傳統的光刻膠和SOLIDLINE PRECISION工藝。ACT 8系統允許高分辨率光刻，減少工藝誤差和汙染。ACT 8單元的核心是其ECD（電子回旋加速器沈積）噴霧劑，其作用是提高光致抗蝕劑層的質量。這些制劑在濺射過程中使用，導致缺陷減少，汙染可能性降至最低。這允許更大面積的光刻膠層被暴露，有助於確保均勻的厚度和均勻的表面拓撲。ACT8機器還改進了光致抗蝕劑的化學性質，使其具有更強的粘合強度和更好的塗層能力。它的低損失率和減少的校正需要有助於節省時間和金錢，當涉及到光刻。除ECD噴霧劑外，ACT 8還利用TEL專利的「支柱」技術，有助於更有效地捕獲光敏材料，減少校正需要，確保與光敏層更好的均勻性。它還減少了過程中可能導致靜電放電的粒子數量。ACT 8工具還提供了改進的缺陷捕獲和更深的無缺陷區域。這有助於提高光刻過程中關鍵特征的質量，同時也減少了敗類和缺陷相關產量損失的機會。最後，ACT8資產利用了專家軟件套件，幫助分析和預測光刻膠層的行為，並在任何潛在的問題變得不可逆轉之前進行檢測。該軟件還有助於減少編程時間,確保高效生產。TEL Clean Track ACT 8通過改進的光刻工藝以及改進的化學品和軟件提供了處理晶片的有效和可靠的方法。這使得它成為任何需要復雜光刻工藝的半導體應用的理想選擇。