二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #193036 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是由TEL Limited（TOKYO ELECTRON）公司開發製造的光敏設備。它是市場上領先的光刻膠系統之一。該系統的設計目的是提供清潔、一致的暴露光致抗蝕劑，而不會產生任何有害殘留物。TEL Clean Track ACT 8單元由噴霧送送機、噴水輔助噴霧送送工具、頭部單元、頭部級和控制器組成。噴霧輸送資產用於霧化和向玻璃表面輸送光致抗蝕劑。霧化的液滴然後均勻地分布在基質上。噴水輔助噴霧輸送模型增加了光致抗蝕劑顆粒在基板上形成均勻薄膜的分散力。頭部單元用於精確定位用於曝光的基板，而頭部級則用於在曝光輻射下精確定位抗蝕劑。控制器用於控制曝光過程的物理參數，如強度、持續時間和曝光深度。TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8配備了一系列先進的安全特性，如化學檢測設備、防接觸系統、防濺板等。化學檢測單元監控機器中使用的光刻膠濃度，防止危險的溢出或排放。防接觸工具用於防止基板與曝光源接觸，最大限度地降低損壞風險。防濺罩降低了光刻膠的噴霧發射速率，確保了清潔均勻的曝光。Clean Track ACT 8設計用於光刻和制圖過程。該資產用於將圖樣化的層精確地轉移到基板上，提供最高質量的光刻膠薄膜。該型號適用於半導體晶片、集成電路、平板顯示器、模具等元件的曝光。該設備還與一系列光刻膠兼容，使用戶能夠根據需要選擇最佳的光刻膠。TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一個可靠且易用的系統，提供高精度的曝光能力和先進的安全特性。這種光刻裝置非常適合一系列工業應用，從基本光刻到復雜的圖樣。