二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293592456 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是為先進的納米技術光刻工藝而設計的先進光刻設備。系統配備了兩臺掃描儀，一臺在紫外線中運行，另一臺在紅外線中運行。該裝置的設計能夠提供卓越的準確性和可重復性，以及卓越的均勻性，即使在長時間的操作中也是如此。TEL Clean Track ACT 8是一種獨一無二的機器，利用先進的自動聚焦機構、專有的絕緣技術和光刻膠對比度的主動調整，以確保合成圖樣的高維精度。自動對焦功能能夠快速、準確和可重復地優化對焦位置和深度,從而確保一致的高精度模式傳輸。專利絕緣機構在操作過程中顯著減少了光敏振動或其他失真源。最後,主動對比度調整功能允許刀具根據所需的圖樣分辨率調整對比度。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是由照明階段、光刻階段、曝光後烘烤（PEB）階段和塗層/顯影階段組成的四軌資產。光學元件在每一級的密封環境中被隔離，以盡量減少汙染物。特殊的誘捕裝置用於避免產生可能導致模式失真的粒子。照明和光刻階段采用了多種高精度光學器件，包括先進的光學滯後技術，以保持由熱變化引起的失真非常低。曝光後烘烤階段配備石英鹵素燈，提供均勻加熱。PEB工藝的溫度可以精確調整，以控制模式傳遞的質量。曝光後烘烤階段最多可容納八個盒式磁帶，有助於減少曝光後烘烤過程的時間。塗層/顯影階段裝有高精度的機械臂，用於晶片的精確運動。等離子體產生裝置用於圖樣的精密蝕刻以及晶圓的清洗。然後將晶片暴露於精確的高分辨率成像光學器件中，以實現優越的圖樣傳輸。Clean Track ACT 8是一個完整、高精度的光刻模型，旨在最大限度地提高效率並確保精確的圖樣傳遞。其先進的功能使設備堅固、可靠、準確且可重復,即使在長時間的運行中也是如此。