二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293628555 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是一種用於高端光刻工藝的光刻設備。該系統具有垂直電阻頭,可實現高度均勻的質量結果。這種高精度的裝置提供了在整個抗蝕劑表面均勻的曝光。該裝置在加工0.5 μ m結構時具有很高的可重復性，可用於要求苛刻的生產線。該裝置具有一個掩模平面成像透鏡，可減少1X到5X的光刻膠。透鏡能夠通過操縱透鏡來觀察和放大抗蝕劑的各個方面，從而提供達到預期效果的能力。該設備具有步驟和重復功能,允許它同時曝光多個圖像、蒙版和膠片,以減少周期時間。該機還可以容納4英寸到6英寸不等的基板，並且能夠曝光5.6 μ米或更少。該工具內置了Arm控件，使用戶能夠操縱抗蝕層，並對與光刻相關的各種參數進行附件處理，如曝光劑量、焦點和快門速度。這一特性使得該設備成為高精度晶片應用和生產的理想選擇。TEL ACT 8的設計使得用戶能夠監測、自動化和控制光刻過程的各個方面，從曝光到聚焦設置。設備具有內置診斷程序,可提供有關流程性能和設置的信息。該設備還具有溫度控制設置,可增強對光刻工藝的精確控制。該資產采用高精度數字伺服電動機，與傳統的模擬伺服電動機相比，具有更高的精度。該單元還包括高可重復對準設置，以精確定位和對準口罩和膠片。所有這些特性確保TOKYO ELECTRON ACT 8是實現高端光刻工藝的理想工具。該器件可方便進行亞四分之一微米分辨率投影光刻等工藝，這是半導體行業使用最先進的工藝之一。因此，該裝置適用於任何需要精確過程控制設置和準確結果的光刻處理應用。