二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293633988 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是設計用於在半導體晶片上產生高度精確的電路模式的光阻設備。系統利用光照來有選擇地塗抹和去除晶片表面的光刻膠。通過專門和復雜的曝光和開發過程，該裝置能夠產生最小線寬為8納米的精確、高分辨率模式。TEL ACT 8機由曝光頭、晶圓處理器和步進級組成。曝光頭充當光源，包含發射波長達248 nm的激光二極管。通過步進階段，曝光頭能夠水平和垂直移動，允許精確的曝光控制。曝光頭可以調整以支持多種曝光過程，包括單點或多點激光曝光和掃描曝光。晶片處理程序將晶片傳送到步進級,並在曝光後將其收集。它還允許用戶執行晶圓定向、基板交換和晶圓對齊。此外，該工具還支持多種基板，包括矽和玻璃芯片。該資產旨在提供高度的準確性、統一性和可重復性,以及處理各種材料的靈活性。使用該模型，可以采用多種曝光技術，包括動態曝光優化、多次曝光以及補償球面像差。TOKYO ELECTRON ACT 8還附帶了一套控制軟件和硬件工具，幫助用戶在電路模式中實現所需的質量和分辨率。它包括曝光模式分析軟件和自動模式匹配功能，使用戶能夠調整光刻膠要求和曝光條件，以達到所需的模式精度和準確性。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 8是一種強大的光阻設備，在半導體晶片上產生電路模式時具有很高的精度和均勻性。其專門的曝光和開發過程使電路模式具有高度精確和可重現的最小8納米線寬。此外，它的一套控制軟件和硬件工具使它易於使用和定制各種應用。