二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293821422 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是專門為光刻應用而設計的光刻化學加工設備。該系統在臨界特征控制方面具有較高的精度，在各種先進的光刻結構設計中具有顯著的選擇性。它提供了廣泛的檢查、工藝和成像能力，以確保最佳的光刻加工和先進的光刻設計結構。該單元包括帶有真空卡盤的掩模對準器、多軌掃描儀、曝光單元和顯影劑組件。新設計的掩模對準器納米定位器可確保精確、一致的亞微米對準精度和± 3 nm的可重復性,從而實現高精度的薄膜接觸和高通量。多軌掃描儀為掃描羅塞塔印刷和先進光刻技術提供了具有可調光束點大小和先進成像能力的高速掃描。曝光單元提供了高精度控制劑量的能力，以及針對不同基材和工藝要求的光源選擇。開發組件提供化學處理時間和溫度的自動控制，使機器達到最佳電路性能。該工具包括一個配方和過程歷史的數字庫，以確保操作員的效率和可重復性，同時也增加了數據的可追蹤性。該庫與所有支持的系統（Windows/Linux操作系統）兼容，可以與現有的軟件和硬件庫無縫集成。TEL ACT 8使用各種集成的模擬工具和分析,可幫助確保電路性能和結構符合精確的性能要求。總體而言，TOKYO ELECTRON ACT 8提供了業界最高的精確度、選擇性和吞吐量，擁有最廣泛的檢查、工藝和成像能力，以確保先進光刻結構的最佳光刻加工和設計。資產能夠以精確、準確和快速的速度處理基材和工藝要求,因此是光刻應用的理想選擇。