二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9078027 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8是一種光刻設備，設計用於半導體制造中的清潔、高效和可靠的光刻工藝。該系統執行光刻膠帶功能，用於在光刻曝光後從晶片表面去除光刻膠。該裝置還提供在線表面汙染監測儀以及平版心軸的表面清潔。TEL Clean Track ACT 8機利用先進的光電技術，提高了表面膜厚度的均勻性，提高了工藝速度，提高了晶圓表面的清潔度。它集成了450W Xe準分子激光掃描儀，為深孔蝕刻等濕蝕刻工藝提供高通量深紫外線（DUV）處理。該工具的設計使排便率更低，具有較高的帶狀效率和改進的過程穩定性。采用改進的化學噴射器對納米結構抗蝕劑進行精確控制，提高了納米級蝕刻工藝的級驅動精度。此外，該資產還配備了一種高分辨率顯微鏡，用於自動光刻膠分割和增強缺陷檢測。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8型號設有低熱發射源，以減少深蝕刻過程中晶圓溫度偏移，以及改善群電極配置，以提高抗蝕刻的均勻性和表面膜厚度。它還有一個自動潔凈室管理設備和監測系統，以確保提高安全性、可靠性和效率。Clean Track ACT 8單元的用戶受益於較短的周期時間和更高的穩定性和可靠性,使其成為高效、準確的半導體制造工藝的理想選擇。與市場上提供的其他解決方案相比,它降低了運行成本並提高了吞吐量。此外，其易於使用的軟件允許對光刻工藝進行自動化和一致的校準。