二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9106750 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種光致抗蝕劑設備，旨在提高暴露過程的清潔度，減少化學廢棄物的數量。該系統由兩個組件組成：CleanTrack蒙版對準器和自定義清潔解決方案。Clean Track mask aligner是一個精確對準單元,它將具有UV敏感材料的mask精確放置在光掩碼上。然後使用該掩模將光刻膠暴露在紫外線下。面罩上的材料是一種特殊的轉移材料，能夠以最少的浪費準確地重新定位。機器還包括一個自動真空工具，以確保面罩固定到位，並且曝光過程產生幹凈、準確和可重復的曝光結果。定制清潔解決方案是專為與清潔軌道面罩對準器配合使用而設計的。這種專有的清潔溶液由水性和有機性兩種成分以及表面活性劑和溶劑組成，以確保在暴露前後徹底清洗光掩模。這種無纖維溶液分解了光掩模上常見的聚合物，有助於防止曝光過程中圖像模糊。Clean Track面罩對準器和定制清潔解決方案的結合為清潔光刻膠和改善曝光過程提供了一種有效的方法,同時減少了與曝光過程相關的時間和浪費。Clean Track資產還設計為緊湊且易於使用,同時確保最高級別的清潔度。再者，該車型符合業界最嚴格的清潔安全標準。TEL Clean Track ACT 8通過提供光刻膠清潔和曝光過程的綜合解決方案,可幫助提高光刻工藝的產量並降低成本。