二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9145931 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種用於生產電子元件的光致抗蝕劑設備。該系統用於創建用於半導體工業的圖樣化晶片。它提供高分辨率的光刻成像與精確度和速度的無與倫比的組合。TEL Clean Track ACT 8使用獲得專利的先進光刻膠,產生極小的結構,精確度無與倫比。這種光致抗蝕劑以薄而均勻的層塗在晶片上,然後暴露在紫外線下。紫外線照射激活了光致抗蝕劑內的化學成分,導致它們在被顯影劑溶液沖走時變得不溶解。未暴露的區域仍然是可溶性的,開發人員將其移除,只留下圖案化的設計。該單元具有一個自給自足的處理平臺,該平臺包含一系列機械臂,為光刻應用提供了一個潔凈的環境。這些機械臂提供精確的運動,使晶片能夠精確定位和對齊。機器還配備了先進的成像工具,可以檢測到可能對最終產品產生不利影響的無形缺陷,如雜散顆粒或其他汙染物。資產能夠執行各種過程步驟,包括預曝光、後成像和拋光。預曝光用於通過清潔烘烤制備晶片,後成像用於成像後檢查圖樣設計,拋光用於清潔晶片表面的任何殘留物。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8進行的高精度成像在產品可靠性和準確度方面產生了高產。模型的使用允許對生產過程進行嚴格控制,從而使高產部件的生產質量一致。此外,設備非常靈活,可以用於從研發到大批量生產的各種生產環境。它的靈活性使其成為想要保持高質量標準並最大限度地降低與制造相關成本的公司的絕佳選擇。
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