二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9165439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種高性能的光刻設備，能夠對復雜的結構和選擇性蝕刻過程進行精確的光刻。它旨在減少光刻過程中缺陷的發生，保證高屈服和無缺陷的表面。TEL Clean Track ACT 8利用掃描電子顯微鏡（SEM）利用抖動和高分辨率成像在晶片上創建超有限模式。該系統與各種光刻膠溶液兼容，包括標準的正負型，以及新的、更堅固的材料。增強的光致抗蝕劑分辨率與精確的光刻制造工藝相結合，形成了一種高度精確的產品。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8還包含了一些專門的功能，旨在確保高品質的產品具有極好的均勻性和最小的缺陷風險。這包括一個專門的加熱晶片支架，它用先進的熱分布單元均勻加熱晶片。該機還包括三級真空脫氣工藝，以去除光刻膠的氣囊。此外,Clean Track ACT 8還配備了自動檢查技術,用於掃描晶片的缺陷。此功能使用戶能夠快速識別任何可能有問題的區域,從而能夠快速采取糾正措施。然後對任何無缺陷區域進行光學檢查,以確保所需的準確性和質量。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8是一種強大的光刻工具，能夠以最小的缺陷率對複雜設計進行精確的光刻。它配備了多種功能,使用戶能夠快速準確地識別任何潛在問題,同時確保高度的準確性和統一性。其結果是無缺陷的表面具有極好的一致性，使得一個高效和可靠的制造過程。