二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9198618 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款使用先進技術為高端微電子器件生產提供廣泛效益的高精度光刻設備。該系統提供了更好的過程控制和準確性，從而提高了生產率和質量。它通常用於生產薄膜晶體管和集成電路。TEL Clean Track ACT 8單元包括兩個關鍵組成部分：一個獲得專利的電子束曝光源和一個專有軟件控制的精確多軸曝光機。電子束曝光源使用電子槍產生高分辨率的蒙版成像圖樣，轉移到光敏材料上。專利曝光源設計為通過最大限度地減少由於成像介質造成的曝光能量損失，將圖像精確轉移到光刻材料上。這樣可以提高圖像分辨率和精確的圖像配準。機器的第二個組件是專有的軟件控制的精確多軸曝光機制，它負責以極精確的精確精確地傳送掩模到圖像的模式。該組件配有鈦制拖車，可在三個軸上進行線性運動控制，精度小於0.5微米。這樣就能夠以嚴格的精度進行照片對齊,從而產生具有出色配準的高分辨率圖像。此外，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8工具可以安裝晶圓預烤模塊、溫度補償資產、高精度快門模型等多種不同的附加功能。這樣可以定制設備以滿足特定的生產要求。Clean Track ACT 8光抗蝕劑系統采用尖端技術,在微電子器件的生產中提供極高的精度和速度。這個單元可以在薄膜晶體管和集成電路的生產中實現更快的生產時間、更高質量的圖像以及更高的生產率。它是制造精密精細微電子器件的理想機器。