二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235479 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種光刻膠設備，設計用於半導體光掩模圖樣和處理應用。該系統是利用機械臂將光致抗蝕劑層精確沈積到基板表面的幹膜光致蝕劑沈積裝置。這臺機器有兩種配置：標準ACT 8和ACT 8-XHD。ACT8與更高分辨率的液滴發生器集成在一起，使0.4微米的分辨率更高。此外，該工具配備了四個同時沈積的分配頭，能夠每小時沈積至少200個晶圓。這項資產的設計采用了一種光管模型，用於確保每個基板的均勻暴露。光管將光刻膠暴露在強烈的紫外線和成像光下，形成超高分辨率的圖樣。該設備還利用再循環和過濾系統，以有效地分配具有較少廢物產生的光刻膠溶液。ACT 8能夠處理包括伽馬敏感材料在內的多種底物，可用於廣泛的應用。可用於對薄膜結構、觸點、線密化等進行圖樣化。此外,該單元還能夠在綁定墊上進行陣列設計、執行叠加過程以及對基板背面進行陣列設計。此外,該機還采用了INFINITY光刻膠管理軟件.此軟件用於監視相關參數,如解決方案供應、圖像對齊和分辨率,以及分配磁頭狀態。它還用於確保每個基板的正確曝光,並在工具中存在任何差異時提供警報消息。總體而言，TEL Clean Track ACT 8是一種高性能光刻膠資產，旨在滿足半導體光掩模制圖和處理應用的需求。該模型能夠處理各種基材，可用於許多應用。此外，該設備還配備了INFINITY光刻膠管理軟件，可實現該系統的精確高效運行。