二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235802 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款為半導體產業提供性價比和增強光刻平臺的光刻設備。它使用組合掃描儀和Auto Mask Chuck （AMC）平臺在一個平臺中執行掃描到掩碼的註冊和曝光任務。該平臺旨在降低運行成本，提高光刻膠系統性能，通過減少加工一個晶圓的時間來提高吞吐量。TEL Clean Track ACT 8使用創新技術來提高暴露過程的準確性和吞吐量。用於保護口罩的自動口罩卡盤（AMC）具有高穩定性的微突起功能,可確保口罩正確、準確地對齊。嵌入式掃描儀還結合了自動對焦和掃描速度，通過加速掃描操作來提高吞吐量。TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8以大容量鍋組件為特色。它最多可容納12個口罩或3張晶片，並被分成兩個腔室。第一個腔室為暴露攝入口罩，第二個腔室減少非經常性分配偏差。它還通過在曝光操作和分配稀釋之間快速交換腔室來提供卓越的性能，從而消除了吞吐量減少重新校準的需要。Clean Track ACT 8具有5兆瓦脈沖光源（PLS）.它提供了減少膜吸收的低背景源和高穩定性的集成設計等幾個優點。此外，它還包括主動過程監測，以便在一段時間內保持恒定的光輸出並確保準確的曝光。最後，利用創新技術開發了TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8裝置，以提高光刻膠系統的吞吐量和成本效益。它包含了一個組合的掃描儀和自動蒙版卡盤，以及一個大容量的鍋組件和一個5兆瓦的PLS用於蒙版曝光。這些特性使機器能夠準確、快速地加工晶片，提高半導體工業中光刻膠工藝的成本和性能。