二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款設計用於半導體加工的最先進的光刻設備。該系統采用先進的表面清潔技術，能夠在底物暴露於光致抗蝕劑之前清除其多余的灰塵和顆粒。這減少了汙染和缺陷形成的機會，從而導致性能低下或產品失效。TEL Clean Track ACT 8利用先進的光學狀態剖面儀（Optical State Profiler，簡稱OSP），可以檢測基板頂部表面的亞微米大小的顆粒。一旦檢測到，OSP會自動調整表面清潔參數，以確保顆粒的最佳去除，然後可以使用缺陷密度成像（DDI）確認。這種先進的技術提供了一個很大的精確度和精確度，當涉及到實現清潔基板進一步處理。TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8還有一個同步塗層單元，允許在整個基板上均勻塗層。該機采用精密晶片級定位工具，在塗層過程中提供一致的基板接觸，確保光敏沈積的最佳均勻性。此外，該資產還利用一種新型的自動聚焦模塊，在檢查過程中最大限度地提高對準精度和光學圖像采集精度。該模塊不僅提高了圖像質量，而且提高了評估晶片缺陷的精度。Clean Track ACT 8還包括一個集成的暴露狀況數據庫（ECDB）,它允許根據每項工作的具體要求進行更大程度的定制。這種ECDB有助於確保每種基板的曝光條件得到優化，進一步提高光刻膠層的整體質量。歸根結底，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8是一款精密的光刻膠模型，具有許多高級功能，旨在提供卓越的性能。該系統采用先進的表面清潔技術、精密晶片分級、創新的自動聚焦設備和集成的曝光狀況數據庫,非常適合各種半導體加工應用。