二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269230 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款高性能的光刻膠設備，為精確高效的圖樣設計。該系統采用高性能光敏材料，這是一種特殊類型的光敏材料，當暴露在光線下時，會產生非常精細的圖案。光致抗蝕劑安裝在一個專門的機器人晶片處理單元，它可以移動晶片的精度和可重復性。該機器采用高端光學器件，包括高質量的線性偏振激光器，使光刻膠能夠精確曝光。激光曝光工具是對齊的，以確保產生精確的圖樣。這種精確度使資產達到了極致的效率。利用該模型的機器人晶片處理設備，制備並將其應用於壓模晶片。機器人的精確運動能夠快速定位每個晶片，確保生成所需的圖案和/或幾何形狀。然後，機器人晶片處理系統將晶片傳送到曝光單元，這會使光刻膠暴露在激光的光下。曝光會使光致抗蝕劑以所需圖案的形狀變硬。曝光完成後，晶片被移動到開發機器上，該機器使用熱水或化學物質溶解未曝光的光刻膠並揭示最終的圖案或幾何形狀。這最後一步產生了一個高度定義、精確的晶圓模式，隨時可以進一步處理。TEL Clean Track ACT 8工具具有高精度的微精度對齊資產。它會自動調整曝光模型的對齊方式,從而無需耗時的手動設置。這樣可以實現超精確和可重復的陣列。該設備包含了一系列附加功能，包括用於高效和精確晶圓處理的高精度晶圓對準系統、確保精確曝光的自動對焦控制以及提供實時錯誤檢測和數據記錄的單元監視器。總的來說，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8機器提供了一種快速、精確、高效的光致抗蝕劑工具，可以產生高精度的圖案。該資產非常適合高精度、面向精度的工藝流程。