二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269251 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種光刻設備，結合了高精度的控制和測量以及對廣泛化學物質的可靠電阻。它使用戶能夠以精確、準確的方式高效生產工藝關鍵型薄膜層,而無需進一步清洗。TEL Clean Track ACT 8系統圍繞兩軸圖像捕獲光學微米設計。這樣就可以對分辨率高達8微米的玻璃滑動基板進行XY坐標定位,從而能夠對薄膜、設備級應用進行精確的光刻過程。該單元還配備了防反射塗層，以減少基板表面光反射造成的誤差。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8機器中使用的光刻膠使用了獨特的化學和機械過程組合。這包括溶液的直接分配、均勻的抗蝕層覆蓋以及旋轉力的最佳傳遞，以有效地控制旋轉力。所有這些過程在本質上是相互關聯的，以便創建一個高效和可靠的光致抗蝕劑工具。資產還采用一種獨特的清潔模式，用於清潔基板，並按照光致抗蝕劑工藝進行抵抗。這種清潔設備使用酒精和聲波清洗攪拌器，以保證照片曝光後的最高清潔水平。酒精清洗系統是專門為減少對基板的汙染和抵抗而設計的。為進一步確保結果的準確性，Clean Track ACT 8單元還提供了紡紗過程中每個抗蝕層的自動「質量檢查」。這有助於確保每一層都幹凈並符合所需的標準。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8機的獨特能力，使使用者能夠製作高級別的工藝臨界薄膜層，精確度和精確度。該工具還提供了對各種化學品的可靠抗藥性，確保結果始終是一致和可靠的清潔。