二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269257 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種設計用於處理先進材料的光刻設備。它旨在最大限度地提高潔凈室的工作效率和性能。該單元配備了多種功能，使其能夠以最高精度運行。Clean Track系統使用倒置的盒式磁帶單元,可確保各種基板的均勻性和一致性。該機設計為允許多個基板同時處理，產生優異的吞吐量。盒式磁帶包含一個雙面基板支架，在加工過程中允許極低的損傷和均勻性。該工具還通過動態液滴分散資產實現可靠的基板表面清潔。該模型采用獨特的空氣凈化溶液將所有顆粒從加工區域中去除，從而產生最大的顆粒保留。設備具有晶圓尺寸選擇選項,允許生產線定制。它還提供了一個自動基板索引系統，使晶片和基板的處理和處理變得容易。該裝置采用二維成像技術，確保配準的均勻性和準確性。光刻機還配備了四級光學對準工具，可以精確對準曝光光學器件。該資產支持高達10毫秒的曝光時間,分辨率為10 µm。該機組還配備了基板溫度控制模型，確保基板溫度均勻，抗蝕劑固化。該設備與許多光敏材料兼容，包括陽性和負性抗蝕劑。它被設計為能夠承受廣泛的環境條件，允許長時間使用。該機組還配備了高性能發電機，保證了曝光的最高質量。清潔軌道系統旨在提供高產量和精確控制,並改進清潔過程。它的高級設計確保了即使是最復雜的處理任務的最大精度和可靠性。是加工最先進材料的理想單位。