二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282574 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一種光致抗蝕劑設備，旨在為先進的微電子器件陣列提供可靠有效的工藝。它允許用戶將光刻膠圖樣幹凈地轉移到幾乎任何形狀或大小的基板上，包括難以繪制圖樣的凹陷或凸起的設備區域。該系統由幾個組件組成，包括一個精密的光掩模對準器、一個步進/掃描儀和一個電子束塗層/顯影器。精密的光掩模對齊器有利於光掩模與基板的精確對齊，確保圖樣的有效傳遞。此外,還可以設置光掩模對齊器以激活將快速打開和關閉的對齊快門,以便精確對齊。步進/掃描儀允許自動將光刻膠圖樣暴露在基板上。它包含符合人體工程學設計的晶圓處理和基板掃描組件，並為透明和不透明的基板提供光學成像能力。該單元的最後一個組成部分是電子束塗層/顯影劑，用於在基板上施加和發展光敏塗層。該組件設計為均勻可靠地應用光刻膠。它的電子束非常精確，可以使用清晰、清晰的邊緣進行精確的陣列。此外,其光致抗蝕劑開發過程快速高效.TEL Clean Track ACT 8為設計現代電子設備提供了性能和可靠性的最佳組合。其組件確保精確的對準、準確的曝光以及均勻可靠的光刻膠應用和開發。因此，該機可用於設計要求高精度和可靠性的微電子器件。