二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282575 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一種光致抗蝕劑設備，能夠以最小的殘留物進行清潔和精確的處理。它是一種高效、精確的技術，利用遠心光學和智能自動化實現更高水平的準確性和吞吐量。系統由四個主要組成部分組成；舞臺、標線、光刻單元和光刻站。舞臺是水平對準機，有移動的舞臺和固定的標線。移動級是一個可靠耐用的機動化級，支撐著廣泛的基板。固定標線為基板的精確對準和放置提供了精確的參考。光刻工具由遠心光學和掃描控制資產組成。遠心光學器件提供了深度聚焦，並確保了基板的均勻照明，允許更精確的曝光。掃描控制模型可確保按照指定的方式進行曝光,從而提高吞吐量。光刻站裝有自旋加工頭，消除了過程中的交叉汙染。它支持多種類型的自旋光刻膠，包括正、負和中性型。為優化工藝控制提供了精確的自旋塗層和穩定的抗蝕性。最後,TEL Clean Track ACT 8設備配有自動端點系統,可監控和控制曝光過程,從而提高吞吐量和準確性。端點單元為用戶提供了對曝光配置文件的完全控制,確保了統一的覆蓋範圍和分辨率。總之，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8機器是一種可靠、高效和精確的光致抗蝕劑工具，適用於業余愛好者、原型專家和專業人士。該資產的遠心光學、掃描控制模型、基板級和抵抗站相結合，提供了高水平的精度和生產率。自動端點設備可確保按照規定完成曝光過程,從而實現更均勻的塗層和更高的分辨率。