二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9300430 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是為高品質光刻工藝而設計的最先進的光刻設備。該系統在一個自動化模塊內促進各種加工步驟，包括紡紗、烘烤和開發。它是專為在高精度光刻過程中提供最佳控制和高產率而設計的。TEL Clean Track ACT 8配備了高精度運動控制器和運動視覺單元（MViS）。這樣可以確保晶片級的精確和高度可重現的定位,即使在長時間運行時也是如此。此外,該機器采用了各種先進技術,包括高速粗移動控制器、快速線性編碼器和閉環軸驅動器（CLAD）。這種特性的組合確保了光滑、可靠、精確的運動控制，以及晶圓級的精確定位。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8提供優越的基板清潔能力；設有可滑動梯形刀片清潔站。該站使用磨料葉片從基板表面輕輕去除顆粒，減少邊緣效應。它還配備了顆粒和汙染監測工具，以持續有效地控制過程。該監測設備利用現場電離和排氣系統，以確保優越的基板清潔。除了運動控制和清潔功能外,Clean Track ACT 8還提供多種成像和圖樣選擇。它配備了用於大基板快速成像的單進給和雙進給頭掃描儀，還包括多種模式化方法，如曝光激光掃描（ELS）、接觸PR拷貝（PRC），以及用於定義精確圖像模式的內置離軸自動對準。TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種綜合性的光刻膠模型，其設計目的是提供高品質、可重現的光刻結果。它提供出色的運動控制、基板清潔和成像功能，允許用戶實現精確和精確的光刻工藝。其先進的技術特點和種類繁多的圖案選擇使其成為高精度工藝的絕佳選擇，確保了優越的產量和工藝控制。