二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9355794 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一種用於先進光刻工藝的光刻設備。它是一個一流的系統，利用最新的技術來產生幹凈、準確和精確的光刻工藝。ACT 8可以處理任何類型的具有從50 nm到兩微米厚的抗蝕層的光掩模，並支持低至0.25微米的特征大小。該單元可提供高達0.15微米的精確度,從而能夠生產具有幹凈邊緣的細線圖案。該機器采用激光投影曝光、燒蝕工藝，並為毯子蝕刻和液體塗層提供多種選擇。該光路利用高NA空間照明透鏡，利用專利照明特征對小至0.15微米的照明點進行照明。激光工具可以提供一系列超高強度的曝光，或者以不同的能級對多個順序曝光進行超速驅動，從而產生精確的模式。該資產還采用特殊參數來塑造激光束的曝光輪廓，使其能夠在不塗抹曝光圖案的情況下曝光和蝕刻光掩模。TEL Clean Track ACT 8光刻膠模型還采用了受控流動的液體塗層工藝，以提高光刻膠層的均勻性。液體塗層工藝包括控制粘度和暴露時間的參數以及溫度控制，以提高均勻性和準確性。設備甚至使用離子植入物來改善附著力，改善圖樣尺寸。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8展示了中央計算機控制和先進的過程監控能力。該系統還具有廣泛的參數數據庫以實現準確的過程控制以及SPC的日誌記錄功能。該裝置采用模塊化工藝概念設計，便於維護，並為機器的完整性而防塵和防化合物。總體而言,Clean Track ACT 8光刻工具是高級光刻工藝的完美解決方案,需要精確和精確。