二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9361997 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一種光刻膠設備，設計用於光刻膠材料的纖薄、精密、高度均勻的薄膜。該系統由幾個外部部件組成，包括一個光源、光學單元和真空傳遞機。光源是量身定制的氙氣短弧燈，產生包括紫外線（UV）範圍在內的廣譜光。然後，通過一個定制的光學工具收集和聚焦從燈產生的光，該工具引導波長光譜與所使用的光敏材料相匹配。光學資產還控制著光束的聚焦、發散和均勻性。光致抗蝕劑材料存儲在真空燒瓶或儲罐中，並通過定制的轉移模型暴露在光束下。該設備由快門、冷凝透鏡和真空傳遞室組成。快門用於控制光刻膠材料暴露於光線的時間。冷凝透鏡將光集中到基板上，而真空傳遞室確保均勻曝光。該系統還包括一個綜合測量單元，用於監測和控制光敏材料的性質。這臺測量機連接到一臺計算機工具上，該工具具有評估基材和光敏材料特性的專門軟件。這種資產允許高度的控制和準確性。TEL Clean Track ACT 8是一款高度先進的光刻膠模型，設計用於生產纖薄、精確、高度均勻的光刻膠薄膜。通過其定制的光源、光學、傳輸設備的組合，系統提供了出色的均勻性和準確性，同時保持易於使用和維護。