二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9383672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款設計用於半導體工業的自動化光刻設備。該系統用於在半導體材料中精確蝕刻圖樣。該單元由多個組件組成,這些組件共同操作光刻膠材料。第一個元件是光電子掩模對準器（Photoelectron Mask Aligner，PMA），負責將所需的圖案精確地放置在晶圓材料上。然後,PMA使用紫外線（UV）將圖樣傳遞到光刻膠上。這一步叫做'暴露'。第二個成分是化學加工站，負責除去光刻膠的暴露部分。這一步通常是通過在光致抗蝕劑上應用水基堿性溶液來完成的。這一過程被稱為「發展」。第三個組分是自旋幹燥器，用於在發育步驟後對材料進行幹燥。此步驟可確保正確執行下一步蝕刻。第四個組件是蝕刻器，用於將所需的圖案蝕刻到材料中。根據要蝕刻的材料,這可以通過幹蝕刻、濕蝕刻或等離子體蝕刻來完成。第五個元件是一個升降站，負責從蝕刻圖案中除去剩余的光刻膠。這通常是用一種化學升降劑來完成的，這種化學升降劑會破壞光致抗蝕劑和材料之間的化學鍵。第六個組件是一個對齊標記檢查（AMI）站，用於檢查蝕刻圖案的對齊精度。這樣可以確保蝕刻的圖案符合設計規範。第七個成分是一個清潔站，用於從晶片材料中去除任何殘留的光刻膠、化學劑或顆粒。這有助於確保半導體不受汙染。最後，第八個部件是一個運輸站，負責將晶圓材料移動到過程中的下一步。TEL Clean Track ACT 8是半導體制造過程中必不可少的組成部分，因為它能夠精確準確地制造半導體材料。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8通過將PMA、化學加工站、自旋幹燥機、蝕刻機、升降站、AMI、清潔站、運輸站組合成單機，簡化了半導體材料的制造工藝。