二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9402762 待售
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單擊可縮放
ID: 9402762
優質的: 2013
(4) Coater / (4) Developer system
Type: Dual
Inline type
Right to left
RDS Pump
SH Nozzle
Open cassette
(3) Main controllers
(2) PHP
Does not include :
T and H
HDD
Missing parts:
COT:
Spin motor driver
Arm1 driver
Spin motor driver
Arm1 Up / Down sol valve
Spin motor driver
(2) TCT Coater cups
(2) PHP TC Control boards
(4) COT EBR Flow meters 30ml/min
(4) COT EBR Flow meters CCD Sensor PCS-1
IRA Z Unit kit XY-HRS 055ZM109
IRA Pincette, 8"
IRA Z IRA Z MU-D015 Axis motor driver
IRA X MU-M008 Axis motor assembly
IRA Y IRA Y M-ESA-LYA2AF8 Axis motor driver
IRA M-ESA-J1003AF9-20 Theta axis motor driver
WEE TKB2251 CCD Board
WEE SMC Vacuum solenoid
Chemical cabinet
HTK270-M Sub operation panel
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款為半導體材料的清潔和表面制備而設計的光致抗蝕劑設備。它利用獲得專利的機械臂組件自動將清潔液體直接分配到材料表面。然後將液體吸出，在表面留下均勻幹凈的塗層。TEL Clean Track ACT 8由控制器、數碼相機、機械手臂和蒸氣屏障系統組成。控制器提供了過程配方、設備安全性和可編程操作的接口。數碼相機用於檢測機械臂組件的運動，為精確清潔和塗層提供必要的反饋。機械手臂的設計提供平滑、精確的清潔液體運動。蒸氣屏障單元的設計是為了盡量減少清潔過程中產生的揮發性煙霧的逸出。所有這些組件結合在一起，創造出一個完整可靠的光刻機。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8配備了一個視覺子系統，使它能夠準確地檢測到人工檢查過程中可能遺漏的材料缺陷。該工具還包括一個智能材料處理模塊，可以輕松識別不同的材料並適當調整其參數。清潔過程是通過引入清潔液體，然後沈積光致抗蝕劑材料開始的。沈積過程使用短波紫外線光源進行，然後進行照片曝光和顯影。在清洗和塗層過程之後，用水或適當的溶劑沖洗設備，以去除多余的光敏材料。Clean Track ACT 8是一種易於使用、可靠且具有成本效益的光刻膠資產,能夠提供一致的清潔和塗層效果。它旨在簡化半導體材料清洗和塗層的整個過程，使其成為尋求高效解決方案的公司的理想選擇。
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