二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293641947 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT Lithius是一種光抗蝕劑設備，結合物理和化學處理，在半導體和其他微電子表面上創建精細的圖樣。該系統用於在晶片和基板上創建高精度和可重復性的精細特征。該單元由五個主要組件組成：光源、圖樣發生器、塗層/顯影劑、分析儀和真空室。光源發出具有特定波長和圖樣的高強度光，激活基板上的光致抗蝕劑。模式發生器通過一系列光束創建精確的模式，然後通過光源。塗層/顯影劑然後用光致抗蝕劑塗覆基板，然後將其暴露在圖案化的光下。然後化學開發光致抗蝕劑，產生蝕刻在基板表面的圖樣。最後,該分析儀有效地測量了成型模式的精度.這是通過從真空室中有圖樣的基板上收集數據來完成的，從而使分析儀能夠檢測到基板和所需圖樣之間的任何差異。分析儀還允許操作員對模式發生器和/或光源進行調整，以達到所需的模式精度。此外，該機還配備了直列式紅外顯微鏡和氣體輸送工具，可精確控制顯影和蝕刻速率。這是通過控制氣體的溫度和濃度來調節它們的反應性來完成的。最終的結果是一個令人難以置信的精確圖樣基板，這是在時間的一小部分，傳統的光刻創造。這使得TEL Clean Track ACT Lithius資產成為各種微電子應用的可靠且經濟高效的解決方案。