二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293649381 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT Lithius是一款為半導體器件制造而設計的光刻設備。它是一種先進、高性能的工具，用於均勻、精確地去除光致抗蝕劑殘留物。它使用自動跟蹤系統，以確保一致的性能和盡量減少生產中的顆粒汙染。TEL Clean Track ACT Lithius利用多種不同的技術從半導體器件中除去光刻膠。首先，用一系列化學溶液溶解材料。之後，異丙醇沖洗有助於確保材料完全消失。然後，用高能等離子體完全蝕刻裝置表面。最後，用高溫、低壓氣體擦洗表面，全面清除殘留的任何光阻痕跡。該裝置包括控制器、晶片處理機、化學品輸送、洗滌站和激光蝕刻站。該機器的主要目的是通過提供更精確的晶片處理來盡量減少顆粒汙染。晶片處理程序允許工具在整個晶片表面上提供精確而均勻的光刻清潔性能。它還包括一個綜合視覺資產，用於識別在加工過程中可能汙染晶圓的任何顆粒。化學品的輸送提供了對化學反應物的精確和精確的控制，並提供了一個節省時間和成本的試劑管理模型，以及一個化學自動化設備，以確保廢物最少。等離子體蝕刻站采用高頻等離子體技術，設計用於快速高效地去除表面的光敏殘留物。最後，洗滌站使用低壓氣流沖洗掉剩余的殘留物，得到一個完美清潔的晶圓。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius是一種高度先進、有效且可靠的半導體器件製造工具。它旨在減少顆粒汙染，提供卓越的性能。它能夠快速高效地進行精確的清潔,確保設備的制造質量始終如一。