二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z #293802347 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z是用於制造先進半導體器件的下一代光刻設備。該系統采用先進技術，提供快速、精確、可靠的光敏沈積。TEL Clean Track Lithius Pro Z通過其自動跟蹤光刻工藝提供質量一致性,並在整個晶圓表面實現高達0.3-μ m的厚度偏差。該裝置還具有一個高精度級，用於在沈積過程中將多個晶片放入腔室時對基板進行精確對準。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro Z在10-11 torr的超高真空（UHV）環境下運行，保持高品質的工作氛圍。該機利用超短波長（266 nm）的深紫外光（DUV）在半導體晶片上形成光刻圖樣。這種短波長可以使分辨率降低到0.3 μ m。DUV光由一個自上而下的掃描激光工具提供，用於在整個晶圓表面上均勻陣列。激光圖樣曝光通過靜電卡盤技術得到進一步改善，提供了從晶圓中心到邊緣的圖樣均勻性。光刻膠顯影劑具有0.8%或以下的超低NF濃度，以確保曝光圖樣完全溶解，產生高品質、均勻的光刻膠圖樣。開發者也是一個環保的解決方案，綠色CDP認證，符合SEMI S2標準。Clean Track Lithius Pro Z還提供了高級選項,例如混合分子層沈積、多層沈積和具有不同厚度的抗性陣列。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro Z設計具有高占位周期，在連續處理幾批時提供高通量和低停機時間。總體而言,TEL Clean Track Lithius Pro Z是一種先進而高效的光刻膠資產,為在先進半導體器件上制造提供了卓越的精度和效率。該模型非常適合生產各種半導體器件。