二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro #293802326 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro光刻設備是為光刻工藝設計的高端、先進系統。光刻被用於以極精確的精確度創建非常細小和錯綜復雜的圖樣，而這個單元使得這個過程在市場上具有一些最高水平的精確度和可靠性。Lithius Pro利用光致抗蝕劑技術來捕獲和跟蹤機器中放置的陣列。光刻膠由一種光敏材料組成，當暴露在光線下時會發生變化。光線將被塑造成光刻所需的圖案，這將被捕獲在光刻膠內。在該過程中，圖樣將被暴露在基板上，並且在該過程結束時，光致抗蝕劑可以被移除以顯示圖樣。Lithius Pro的主要特點是其高精度的光學元件,允許在圖樣暴露在基板上時捕獲其精確定位。使用的高精度傳感器將圖樣轉換為具有+/-0.15微米精度的數字坐標。此外，高分辨率圖像捕捉利用高靈敏度CCD相機，其光源提供明亮和均勻的照明，提供一致和準確的曝光精度。當然，這款工具的主要優勢在於其先進的清潔軌道資產。Clean Track模型旨在防止顆粒在光刻劑上形成並汙染圖樣,這是通過真空環境實現的,真空環境將空氣吸入,捕獲顆粒並保護光刻過程。總體而言,TEL Clean Track Lithius Pro光刻設備為用戶提供了精確可靠的光刻工藝、高精度的光學元件、精確的傳感器和清潔的軌道系統,以預防粒子。該單元旨在提供高效、準確的光刻工藝，能夠產生一致的結果。