二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro #9218786 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro是一款先進的光刻設備,設計用於在各種基材上執行高度控制和精確的光刻工藝。光刻，又稱光掩模技術，是利用光在兩種獨立的材料之間傳遞圖樣的方法。Lithius Pro由於其對光和化學物質的高靈敏度,能夠為廣泛的光掩碼應用提供卓越的精度。它是一個同時使用SynchroScan和AsyncScan光掩碼技術的系統,可同時提供高速掩碼結構的掃描和處理功能。Lithius Pro設計用於多種光刻材料,包括正塗層、負塗層和自旋塗層。光致抗蝕劑是一種感光材料的薄膜，它被施加在一種基板上，例如矽片基板，以便形成該材料的圖樣。結合AsyncScan和SynchroScan光掩碼技術,Lithius Pro提供了最佳的模式維護和高長寬比精度。該單元具有為光掩模和光刻膠應用而設計的多項高級功能，如動態掃描速度控制機、自動調音和精確的焦點檢測工具。Lithius Pro通過內置程序（如校準向導）,提供了簡單、精確的設置過程,該程序簡化了校準和校準,以實現最高的準確性和可重復性。它還提供了多種標準和特殊的清潔協議，如真空夾緊清潔模式，以及用於去除油脂、灰塵和其他汙染的變溫清潔模式。內置的檢查能力允許重復和統一的檢查結果。這些功能使Lithius Pro成為用於精確光掩模和光刻膠應用的強大工具。它能夠在廣泛的基板上執行復雜的陣列,並具有可重復的結果。該資產的設計易於安裝,並提供直觀的控制以及廣泛的生產效率和安全功能,使其成為需要光刻系統提供高精度和高效率的用戶的理想選擇。