二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9195123 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一種光致抗蝕劑設備，用於管理各種圖像在基板上的曝光。該系統用於微電子、平板顯示器、光電器件和半導體制造工藝中的精細圖案和光刻應用。TEL Clean Track Lithius單元包括三個部分：光刻膠分配單元、圖像曝光部分和幹膜傳輸部分。光刻膠最初被分配到光刻膠分配單元的基板上，該單元被整合到機器中。該單元由於其控制良好的壓力和速度，提供光刻膠的均勻分配，以確保後續操作的良好起點。工具的第二部分是圖像曝光部分，然後執行將所需圖像曝光到光刻機上的過程。本節配有UV-LED光源，提供極小需要校準的高度穩定的UV輸出。這樣可以確保需要曝光的圖像的所有部分都暴露在均勻的紫外線強度下,從而形成精確且可重復的陣列處理過程。最後，資產的第三部分是幹膜轉移部分。本節使用精確的幹膜轉移機器人，產生極薄的感光膜層，可以轉移到基板上。本節中的機器人能夠將幹燥膜精確定位到基板上，同時將汙染或塗抹的風險降至最低。總之，TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一種用於精密圖樣和光刻應用的有效光刻模型。它能夠提供精確和可重復的光刻膠的均勻分配、均勻的圖像曝光和幹燥的膠片傳遞。這些特性使得它非常適合在微電子、平板顯示器、光電器件和半導體制造過程中使用。