二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9203697 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款先進的光刻工藝設備，旨在達到微小型/納米器件制造的最高水平。它具有較高的吞吐量和較低的缺陷率,是一種經濟高效的解決方案,適用於從基本性能到高級性能的應用程序。系統使用激光在晶圓上創建高分辨率圖樣。它的直接脈沖成像方法支持多種光刻方案，包括ArF（氟化氙）浸泡、KrF（氟化krypton）幹燥和混合模式。光束能量可根據不同的應用要求進行調整，產生的脈沖重復率高，精密覆蓋和精細特征曝光的超高精度脈沖。還支持各種有用的曝光後工藝，如烘烤、開發、剝離、固化和離子束銑削。TEL Clean Track Lithius是為盡量減少汙染和最大限度地提高工藝效率而設計的。單位的空氣清潔機有助於清除汙染和其他漂浮顆粒的暴露。一個專利的主動降噪模塊降低了背景壓力噪聲，該工具配備了詳細的微網濾波器、三重過濾和紫外線滅菌功能。該裝置使用部分受監管的化學品供應鎖定資產，以限制化學汙漬或顆粒汙染的風險。該模型還具有內置智能鼓風機，能夠調制腔室內的壓力。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius的用戶界面簡單直觀。通用軟件環境可用於多種平臺型號,並且全天24小時提供高級技術支持服務。Clean Track Lithius速度快、準確、可靠。它設計緊湊,零件少,維護成本低,適用於小型和大型生產環境。該裝置經過了嚴格的測試，取得了多種認證，包括ISO 9001：2015、ISO 14001：2015、EPA合格。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款功能強大、性價比高的光刻工藝設備,可幫助您滿足當今微/納米設備制造的復雜需求。