二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9206373 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款光刻設備,旨在提供超清潔的效果,並提高吞吐量和節省成本。該系統采用高精度激光器，快速、精確地將給定光刻膠圖樣的正向或負向區域彼此分離。TEL Clean Track Lithius有一個可調節的光學基座塊，可以分別修改曝光條件和激光特性，允許高度精確的圖案。該裝置還采用模塊化設計，以提高設置靈活性，方便地裝載和卸載大型基板。該機能夠產生最小線寬和間距分別為1.4和2微米的圖樣，並具有能夠分辨出0.5微米特征的精細聚焦光束。該設備由圖形用戶界面（GUI）軟件方便地控制,便於操作員使用和實時調整。精確的激光射程間距進一步提高了圖樣的重復性和可靠性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius被設計成以穩定的方式運行，確保生產所需的模式數量和質量。Clean Track Lithius使用專門的幹洗設備,即使在大批量生產環境中也能高效清潔基板和抵抗。該工具采用三級過濾結構，以更好地控制顆粒，從而提高汙染水平，降低清潔相關的成本和停機時間。實施主動汙染檢測，以便根據需要不斷調整資產。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius集成了實時掃描電子顯微鏡，傳輸高分辨率圖像，用於快速缺陷分析和分辨率。這種集成檢測模型消除了從生產線上取樣的需要，減少了時間和成本。設備還利用軟件系統根據預定值自動調整焦點和射擊位置等級別和特征，從而實現更高的精度。總體而言,TEL Clean Track Lithius是一款先進的光刻裝置,旨在提供超清潔效果,並提高吞吐量和成本節約。該機器具有精確的激光器、自動特性調整、高分辨率成像和主動汙染檢測功能,是需要高質量和可重復性的生產環境的理想解決方案。