二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9213599 待售
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單擊可縮放
ID: 9213599
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
(3) Coater / (2) Developer system, 12"
Single block
Main controller
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Robots: 1-0 CRA and 2-0 PRA
Power box
Chemical box
Temperature and Humidity (T&H)
TCU
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Lithius是一種光刻膠設備，用於在半導體晶圓上對電路進行圖樣化。該系統采用無掩碼激光光刻技術書寫光刻膠圖樣，然後可以轉移到半導體晶片上。該過程涉及將兩種或兩種以上的光致抗蝕劑應用於晶片表面。第一種光致抗蝕劑用於沈積點或線的圖樣以形成電路元素，而第二種光致抗蝕劑則在圖樣化的線的頂部形成連續的線。這樣可以更精確地控制電路的精細細節。TEL Clean Track Lithius單元使用激光束在晶圓上的光刻劑上刻出高分辨率的圖案。圖樣的深度對於不同的電路設計是可調的。然後，光致抗蝕劑充當半導體基板蝕刻的掩模，其中使用蝕刻溶液在晶圓上創建精確的圖樣。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius machine is a reliable solution for producing complex and high resolution pattements on the waf該工具適用於多種材料，可用於各種抗蝕劑設計過程。它提供了幹凈和一致的結果,具有卓越的精確度.該資產還具有高速激光掃描和制圖能力，生產效率很高。該模型的設計便於操作、維護和維修。這種光敏設備與沈積、氧化、擴散和蝕刻等所有主要半導體制造工藝兼容。其廣泛的應用使得它非常適合包括半導體、電子設備和汽車制造在內的多個行業。該系統易於處理復雜的圖樣，在多層光掩模生產中特別有用。總之，CleanTrackLithius是一種先進的光阻裝置，可以處理廣泛的應用。它具有很高的可靠性和高效率，具有卓越的精度和高速激光掃描能力。該機操作和維護方便，與所有主要半導體制造工藝兼容。這使得它成為在晶圓上生產復雜模式的多個行業的理想解決方案。
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