二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9217452 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款完全自動化的光刻設備,旨在在所有光刻應用中提供精確、清潔和一致的結果。利用先進的成像和處理軟件，該系統對包括光刻膠、丙烯酸、PMMA或聚酰亞胺在內的各種類型的光刻膠材料產生一致的結果。該單元使用透鏡、衍射光學元件、反射鏡、波長濾波器等先進光學元件的組合，創建一個均勻的光束，應用於光敏材料。此應用程序以完全封裝基板的方式處理梁,並僅在一秒內創建一個均勻的覆蓋層。這樣可以確保暴露的材料具有準確且均勻的覆蓋範圍,從而獲得最大的質量和性能。該機先進的空氣軸承級刀具提供精確、可重復的運動,最大掃描速度為0.5mm/s。它還提供了對基板溫度的實時監測，以確保一致、可重復的結果。此功能進一步減少了所需基板的持續處理所需的時間。此外，這項資產還配備了自動清洗功能。該模型的噴嘴清潔和噴嘴泄漏檢測系統確保空氣輸送系統和噴嘴提供一致的噴霧,從而消除了空氣或材料輸送錯誤的可能性。總體而言,TEL Clean Track Lithius是一款先進的精密光刻設備,旨在為所有光刻應用提供一致、可重復的結果。它結合了先進的光學元件、掃描速度和溫度控制，提供了適合任何光刻任務的完整解決方案。此外，它的自動化清潔功能保證了一致、均勻的光束覆蓋範圍和可靠的基板溫度水平。