二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9243664 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款先進的光阻設備，旨在促進半導體生產工藝的晶圓廠效率。它提供了一套功能獨特的工具來協助光刻光刻循環的每一步，允許定制每一個過程。該系統簡化了制造過程,在不影響質量的情況下縮短了周期時間,從而獲得更高產量的結果。TEL Clean Track Lithius unit允許精確控制光刻膠循環，使得每個階段都能實現無縫光刻工藝。其「自動膠片厚度測量」（FTM）功能可確保光刻膠膠片在整個光刻膠循環過程中具有所需的厚度,從而獲得超精確的抗磨膠圖樣繪制結果。這臺機器還提供了先發制人的原位清潔（CIS）功能,可確保光刻膠在成像之前始終處於原始狀態。CIS特性在實現最佳光阻粘附和避免膠片粘附損失之間創造了有價值的平衡。此外,該工具還包括一個頂尖的Edge-Tilt補償（ETC）功能,該功能可快速準確地補償石刻過程中可能發生的抗蝕性圖樣位移。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius資產提供的自動化也通過消除人工幹預的需要來提高fab吞吐量。集成過程診斷模型（PD）能夠檢測和消除過程變化,並確保對抗蝕劑盒式磁帶進行最佳處理,從而實現更快、更精確的制造結果。總體而言，清潔軌道鋰是一種有效和可靠的半導體制造光刻設備。它通過提供對薄膜厚度的精確控制、先發制人的清潔、邊緣傾斜補償和高級工藝診斷來提供一流的光刻效果,同時通過消除手動幹預的需要來縮短周期。該系統可確保在整個光致抗蝕劑循環過程中得到一致和可靠的結果。