二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267952 待售
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已售出
ID: 9267952
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
(2) Coater / (3) Developer system, 12"
Mainframe with controller
(4) FOUPS and Carrier station
SHINWA T&H-ME-1-1AZAZAZ-01 Temperature and humidity controller
SMC INR-244-260A-2 Temperature Controller Unit (TCU)
Coater unit (2-1, 2-2):
(10) Dispense nozzles
With temperature controlled line: HPT 106-2 Pump
PR Suck-back valve type: (20) AMC Suck-back valve
Degasing system for solvent (PCS Pumps)
Programmable side rinse:
PR Nozzle: (10) Bottles
Solvent 1 supply: CCSS
Solvent 2 supply: Local canister tank 1 and 2
Photo resist temperature control system
Direct drain type
Developer unit:
NLD Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
Degasing system for developer (PCS Pumps)
Developer supply: CCSS
DIW Supply: CCSS
Developer temperature control system
Direct drain type
Chemical cabinets:
COAT Cabinet
2-DEV Cabinets
AC Power box: 200 / 220 V
Full-load current: 152 Amps
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款功能強大的自動化光刻設備,適合各種應用要求。該系統具有高性能、高效的光刻膠工藝控制和靈活的基板加載/卸載選項。它在批量生產中提供了經濟和突出的效果。為確保最佳性能,設備提供自動清潔和幹燥過程,以確保最佳效果和效率。該機器采用機器人控制的盒式裝載機，可一次精確裝卸多達20個晶片。該工具還采用了先進的串聯塗層和烘烤技術，以減少所需的手動加工步驟數量。此外,它還具有復雜的缺陷檢測和自動調整功能。該資產利用多達六個旋轉塗層，這提供了一系列的光刻加工。這些選項包括單層、雙面、20 ± 1微米間隙填充、殘余膜厚度測量和幹洗控制。旋轉塗層還包括一個行業標準的圖像頭，旨在確保最小的死體積和最小的表面缺陷的形成。此外,TEL Clean Track Lithius模型是需要先進模式分辨率的應用的絕佳選擇,具有出色的特性控制能力和均勻的基板交付。它具有很高的穩定性和可重復性,可實現有效的批量生產和進一步的成本節約。該設備還提供了一個集成的軟件解決方案，通過圖形用戶界面管理生產過程。集成軟件將手動幹預減少到最低限度,並包括一個內部數據庫,可幫助管理流程流程。總體而言，TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是滿足各種應用要求的理想光刻膠系統解決方案。提供卓越的工藝時間控制、優異的特性控制能力和卓越的缺陷檢測精度。此外,集成軟件解決方案簡化了生產過程,並確保了高產量和可重復性。
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