二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9267953 待售
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已售出
ID: 9267953
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
(2) Coater / (3) Developer system, 12"
Mainframe with controller
(4) FOUPS and Carrier station
SHINWA T&H-ME-1-1AZAZAZ-01 Temperature and humidity controller
SMC INR-244-260A-2 Temperature Controller Unit (TCU)
Coater unit (2-1, 2-2):
(10) Dispense nozzles
With temperature controlled line: HPT 106-2 Pump
PR Suck-back valve type: (20) AMC Suck-back valve
Degasing system for solvent (PCS Pumps)
Programmable side rinse:
PR Nozzle: (10) Bottles
Solvent 1 supply: CCSS
Solvent 2 supply: Local canister tank 1 and 2
Photo resist temperature control system
Direct drain type
Developer unit:
NLD Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
Degasing system for developer (PCS Pumps)
Developer supply: CCSS
DIW Supply: CCSS
Developer temperature control system
Direct drain type
Chemical cabinets:
COAT Cabinet
2-DEV Cabinets
AC Power box: 200 / 220 V
Full-load current: 152 Amps
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是為生產光刻膠而設計的最先進的半導體晶圓加工設備。該系統結合了先進的清潔工藝和高精度的光敏沈積裝置，可以按需生產出質量最高的產品。TEL Clean Track Lithius有一對機械臂在清潔和沈積階段之間移動晶片。機器的集成清潔過程使用純水添加劑和氧氣提供完全清潔的晶片，沒有有機和無機汙染物。沈積工具由一對超高密度、等離子體增強的氣相沈積槍組成，將化合物熱汽化冷凝到晶圓表面上，使光刻膠圖樣具有極好的均勻性和可重復性。該資產在工藝室的頂部和底部配置了兩條獨立的輸送機軌道來管理晶圓，每小時最多可處理300個200 mm晶圓。專有的TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius軟件套件允許在晶圓處理過程中完全控制模型參數，包括保存配方並即時修改的能力。通過其硬件和軟件，該設備能夠在整個晶片表面實現+/-0.9 µm的沈積均勻性。該系統具有自動診斷功能,可實時檢測和糾正任何過程異常。除了出色的工藝控制能力外，Clean Track Lithius還具備多種安全功能，以保護設備免受汙染和操作錯誤。該機裝有多個金屬防汙擋板和空氣窗簾，以盡量減少顆粒泄漏到加工室內。它還采用了多路復用的進水泵結構，以確保過程中使用的氣體不含可能對晶圓有害的碳氫化合物。最後，該工具配備了工具專用的安全電路檢查，以確保資產得到正確操作。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是精密大體積光刻沈積的理想工具。它專為24/7運營而設計，目前安裝在世界各地的各種實驗室和生產設施中。該模型效率高，設計用於多年的可靠操作，允許用戶快速處理光刻膠，提高晶圓產量和盈利能力。
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