二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9269264 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款光刻設備，旨在為大型集成電路（LSIC）制造和其他相關工藝提供高精度的光刻生產。該系統提供卓越的性能和成本節約,同時降低了汙染風險。TEL Clean Track Lithius的主要特點包括高分辨率成像、用於精確叠加配準的自動掩模對準器、確保曝光掩模安全交付的專用單元、用於優化成像的先進光束掃描儀以及用於減少汙染可能性的超高功率清潔單元。高分辨率成像功能可提供高達0.5微米的分辨率,並確保最終產生的圖像能準確反映過程中使用的掩模。自動掩模對準器設計用於為掩模提供目標電路的精確配準，允許執行高級光刻。專用裝置的設計目的是確保安全交付暴露的口罩，確保不在過程中轉移不需要的材料。先進的光束掃描儀能夠實現最佳的成像性能，而超高功率的清潔機可以減少汙染的可能性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius設計為提供可靠高效的制造工藝，具有廣泛的光刻應用。該工具能夠生成高分辨率圖像並直接暴露於目標基板,確保該過程產生質量結果。此外，先進的光束掃描儀、自動掩模對準器和專用的安全裝置都協同工作，提供安全準確的光刻生產。