二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275995 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款Advanced Photolithography設備，設計用於制造工業規模的高精度電子元件和其他半導體器件。該系統利用優化的光刻膠工藝，生產出市場上最高精度的超高速、清潔切割的器件圖案。光刻單元由光源、圖樣掩模、透鏡、晶圓接收點和光阻層組成。光源（通常是DUV激光器）通過圖樣掩碼投射,圖樣掩碼包含所需的設計圖樣,並通過透鏡定向到晶圓接收點。光敏層由感光材料組成，然後被施加到晶圓接收點上，並從掩模暴露在圖樣上。一旦暴露於光，光刻膠層會因暴露於從掩模輻射的光而發生物理和化學性質的變化。根據光的強度，光致抗蝕劑要麼蒸發，要麼以高度精確的圖樣覆蓋晶片表面。光作為催化劑對光刻膠的物理和化學反應，然後允許精確的模式，這是為了創造所需的組件。TEL Clean Track Lithius提供了一系列功能來輔助光刻過程。內控機確保光照最佳，其獨特的多功能平臺允許多種模式操作。此外,還可以通過使用防故障濾波器來保護光刻膠制圖過程,該濾波器可消除電噪聲並防止光刻工具受到幹擾。總體而言，TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius為制造高精度電子元件和半導體器件提供了可靠有效的方法。其優化的光刻工藝產生精度最高的清潔切割圖案，平臺具有先進的保護和控制機制，以保證高質量的效果。Clean Track Lithius結合了多種功能,是任何工業規模元件制造的理想選擇。