二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9275998 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款用於高精度半導體加工的光刻設備。該系統由一種稱為光刻膠的光敏材料、一個精密清潔單元和一個用於確定晶片確切位置的跟蹤機器組成。光致抗蝕劑工具有助於創建準確且尺寸和形狀一致的電氣元件。該資產利用UV激光器照射施加在晶圓表面上的光敏材料。這個過程根據激光曝光強度改變材料的化學構成。然後將生成的圖像用作模板,以蝕刻基礎材料。該模型還包括一個清潔設備，它可以去除激光曝光過程後可能仍粘附在基板上的任何光致抗蝕劑。這種清洗系統還防止介電殘留物自我重新定位，影響後續電路的模式形成。TEL Clean Track Lithius單元專為高精度光刻而設計，非常適合大體積半導體生產。該機器獲取高分辨率和改進對比度的高清圖像。它還提供了精確和一致的半導體生產所需的可重復結果。跟蹤工具有助於資產準確定位晶片。它還為光束提供反饋，以便在激光曝光期間進行晶圓對準和自動聚焦控制。這樣可以確保晶片的確切位置無論外部環境如何都能保持。組合模型為半導體生產提供了高度的可重復性和準確性。精確的激光照射、高效的清潔設備、精確的跟蹤是TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius成功的關鍵因素。該系統已被證明是一種高效可靠的半導體生產光敏裝置。