二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9294230 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是為先進光刻生產而設計的最先進的光刻設備。它在200 nm至40 µm的基板上提供堅固的性能和可靠性。該系統采用先進的塗層技術,可確保晶片上的抗蝕劑塗層均勻.它還提供了出色的處理層形成和精細的抵抗細節，非常適合臨界特征。該裝置的自動化機器設計提供了對抗蝕劑分配速率的精確控制，並實現了過程的快速提升和長期穩定運行。單一曝光源可提供從高能量到低能量的多種形狀和四種源電源,確保更高的工藝產量和改進的設備性能。TEL Clean Track Lithius配備了多種工具和選項,以確保高效的流程集成。嵌入式缺陷檢測工具（EDI）檢測表面和嵌入式缺陷,然後在抗蝕劑中進行標記。這種高速、實時的檢測旨在保證無缺陷的基板。它還具有前沿診斷功能,無需幹擾即可提供詳細信息,以適應提高晶圓設計可靠性的工藝條件。該資產還利用先進的等離子體蝕刻技術提供了一個集成蝕刻站，用於抗蝕劑薄膜的直接制圖。操作員可以直接從主控制面板訪問集成蝕刻工具,從而可以輕松在同一個晶片盒式磁帶上運行兩個進程。此蝕刻解決方案功能還提供低汙染程度、易於處理和快速晶圓轉彎時間。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius為先進的光刻生產提供了一個多合一平臺，實現了更高的產量、更高的可靠性和更快的吞吐量。Clean Track Lithius具有傳統和創新的功能,為關鍵光刻應用提供高性能解決方案。