二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9329259 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是由半導體行業設備的領先制造商TEL開發的先進光刻設備。該系統的設計目的是在光刻膠層上提供精確、高分辨率的圖樣，使其適用於半導體制造應用。該單元從一個旋轉塗層過程開始，在該過程中，光致抗蝕劑材料被應用在一個薄的，均勻層到基板上。這保證了表面被光刻膠材料充分覆蓋，同時也創造了材料的均勻薄膜。自旋塗層後，光致抗蝕劑層暴露於光源，以創建所需的圖案。根據光的波長和光致抗蝕劑特性，這一過程可以選擇性選擇性地去除或交叉連接圖樣區域內的光致抗蝕劑。下一步利用TEL Clean Track Lithius機器的圖樣工具，在光刻膠表面上準確地標記圖樣。此步驟中使用的工具精確度很高，它們可以實現比任何其他可比系統更小的公差。這對於要求高精度、高質量控制的制造應用尤為重要。經過制圖過程，光刻膠被開發和蝕刻，形成基板上所需的電路或集成電路。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius工具還提供了一個開發後的檢查步驟，用於驗證最終電路的質量。這有助於確保達到要求的美學和性能標準。總體而言,Clean Track Lithius是為半導體制造應用創建光刻膠圖樣的強大而可靠的資產。它在印記設計時提供了高精度,對圖樣制作過程進行了出色的控制,並提供了額外的驗證層以確認成品的質量。通過其使用，制造商可以生產出精確度、可靠性和質量都很好的元件。