二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9351008 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius
ID: 9351008
晶圓大小: 12"
Coater / Developer system Single block, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一款以改善精密製造工藝為目標而設計的光致抗蝕劑設備。它結合了一種新穎的化學配方和專門的光學光刻系統,以先進的光刻層創造出超精細的精密圖案。這種先進的裝置設計用於在最小的電子元件和芯片制造工藝上實現精確的光刻。TEL開發的光刻機利用了一種定制配制的光敏材料,該材料經過優化,可產生超精細圖案的最高精度。專門配制的材料旨在消除光致抗蝕劑層的微觀成分之間發生相聲或幹擾的任何可能性。此外,光刻工具的部件能夠產生比傳統系統所能達到的小得多的精密圖案、線條和鉆頭。這一光刻模型中的光學光刻資產利用了使用短波長(紫外線)激光的自制漸進掃描曝光設備。掃描曝光系統能夠以極好的精度創建各種模式。使用短波長激光器,也可以在結構設計層面上創建圖樣,小於指定的宏觀分量。TEL Clean Track Lithius的成像性能也優於其眾多競爭對手。它能夠在更寬的曝光區域上創建更高分辨率的模式。該單元還提供了廣泛的光致抗蝕劑化學物質,用戶可以從中選擇自定義模式。這臺機器使用的所有組件都設計成協同工作,提供統一的銳利和幹凈的圖案。最後,對光刻工具中使用的化學式進行了優化,以減少表面缺陷,提高斜面產品表面的可靠性。該資產交付的最終產品極其可靠和具有彈性,使其適合在多種應用中使用。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK Lithius photoresist model可以為用戶提供一種可靠、精確的制作超精細圖案的方法,精確度極佳,缺陷最小。
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