二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9397044 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一種光抗蝕劑設備，通過結合公司專有的TEL Clean Track Lithius技術及其離散導體形成工藝，使具有狹窄寬度和優越頻率特性的微量層無空隙形成。該系統采用輕質、低振動的拉絲器，為基板級提供超精密的線性傳輸。首先，在使用TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius之前，基板塗有一層光致抗蝕劑，然後將其暴露在紫外線下。這允許光刻膠層有選擇地硬化，允許根據需要創建圖樣。之後，該過程的下一步涉及開發圖樣化的光致抗蝕劑層，使下面的金屬基板暴露出來。顯影的光致抗蝕劑層起到保護面罩的作用，防止金屬在其施加的地方被蝕刻。之後，金屬的蝕刻使用基於等離子體的蝕刻單元進行，其中金屬表面暴露於氯和氮等氣體的組合中。等離子體和蝕刻氣體能夠有效釋放與金屬反應性物質反應的高能離子，形成揮發性離子簇，迅速蝕刻掉金屬。最後一個過程涉及在蝕刻金屬層的表面上沈積一層薄薄的保形絕緣材料。這種絕緣材料具有耐電性，用於電氣絕緣，以確保卓越的電氣性能。它也阻止了敏感性的發展，消除了噪聲。通過光致抗蝕劑、等離子體蝕刻和絕緣沈積的組合使清潔軌跡鋰能夠產生微米級的跟蹤層模式，具有卓越的電性能。這臺機器現在被廣泛應用於各種電子和光子學應用，包括通信系統中的小型化和高密度互連。