二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404399 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一種用於生產集成電路器件的光刻設備。該系統允許在半導體材料晶片上對狹窄、精確的特征進行嚴格的平版印刷。這項技術能夠在關鍵維度上準確傳遞高分辨率電路模式。該單元由三個主要組件組成：步進/掃描儀、光刻劑軌道/模塊和濕式臺式模塊。步進/掃描儀提供精確指向晶片的嚴密光源進行陣列設計，並確保光源的正確定位。光致抗蝕劑軌道/模塊控制用於在晶圓上創建電路模式的光致抗蝕劑液體的應用。此材料以指定的厚度應用,並且必須符合嚴格的參數,以確保特征陣列的精度。最後，濕式板凳模塊通過光刻膠的固化、蝕刻和其他工藝處理晶片的化學加工，所有這些都以絕對精確的方式進行，以達到預期的效果。為了在晶片上達到最精確的模式，機器必須正確校準。步進/掃描儀必須保持先進且正確對齊,並對所有組件進行故障檢查,以確保最佳性能。光刻膠軌道/模塊必須保持清潔，不受任何會對光刻膠應用的均勻性產生負面影響的汙染物。最後，濕式工作臺模塊必須保持最佳狀態，確保所有儲罐和管道沒有任何堆積，所有化學品都得到妥善儲存和監測。綜上所述,TEL Clean Track Lithius是一種三合一工具,能夠以盡可能高的精度準確地提供高分辨率的電路模式。這種資產需要高度的維護和適當的校準，以確保所產生模式的準確性。