二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9404400 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一種廣譜光刻設備,專為各種成像和設備制造應用中的先進光刻工藝而設計。它采用了先進的顯微成像系統，以確保高分辨率的清晰、幹凈的蒙版圖像復制品。該單元使用單波長的KrF準分子激光源和不相幹成像光學器件的組合，在一定深度和大小範圍內實現高分辨率圖像。光致抗蝕劑是各向同性和各向異性固定元件的雙層。各向同性元素保證了良好的潤濕，而各向異性則確保浸入投影在過程中保持良好的分辨率。TEL Clean Track Lithius使用創新的模式設計過程來減少模式偏移誤差。該機器包括用於快速和全場掃描、垂直和水平斷開掃描以及多層掃描或集成場掃描的選項。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius工具還提供了一種自適應補償能力，以減少成像過程中非線性所造成的失真。資產的應用程序過程始於photomasking,此過程涉及為每個模式創建掩碼圖像。然後將此圖像傳輸到光刻膠層,並將其設置在基板上。光線用於減少暴露在光線下的區域,並在遮罩上創建圖案。在暴露光致抗蝕劑層後，會施加一層增強流體，以增強光致抗蝕劑對基材的附著力。最後，采用強烈紫外線的硬化工藝來完成結構。總體而言,Clean Track Lithius提供了多種功能,可實現高度精確、可靠的光刻和設備制造。先進的成像模型、圖樣設計過程和自適應補償能力都有助於提供高分辨率的精確、幹凈的結果。這種設備是任何人尋找一個全面的，高質量的光刻系統的絕佳選擇。