二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198151 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 5是一款最先進的光刻設備。它是為需要高精度的工業應用而設計的。它最突出的特點是能夠處理極薄的薄膜和基板，這在許多半導體生產過程中至關重要。Mark 5可用於應用和蝕刻具有卓越精度和均勻性的光刻膠層。它利用微調的光學和先進的計算算法來應用精確的光致抗蝕劑層，還具有獨特的成像系統，用於高度精細的成像和監測過程。它有一個機載自動配方支持單元（ARSS），該單元針對光刻膠工藝進行了優化，允許針對每項工作定制優化工藝參數。這對於需要嚴格控制每個像素的設備設置的復雜作業特別有用。Mark 5有一個集成的前端升降機，可以快速交換基材，並且能夠容納多達9英寸的基材。Mark 5還提供了一系列濕處理選項,包括濕蝕刻和光刻,以實現快速高效的工藝控制。此外,Mark 5還具有許多安全功能。它配備了一個動態氣體流動工具，以減少蒸汽暴露和光學封閉的設計，以防止接觸危險化學品。它還包括一系列IP聯鎖和一個自動鎖定前入口,以防止未經授權的訪問。Mark 5是一種用途極為廣泛的資產,使制造商能夠快速可靠地交付高性能產品。其先進的功能使其非常適合一系列基於光刻膠的應用。其無與倫比的準確性和可靠性使Mark 5成為工業應用的寶貴工具。