二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5 #9198152 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 5是為半導體工業中的先進光刻和制造工藝而設計的光刻設備。它利用一種稱為HxP （High-X Movement Patterning）的獨特陣列技術來確保統一、高分辨率的結果。TEL Clean Track Mark 5采用了優化的軟觸摸步進系統,提供高密度、短線寬度和高透明度領域的高精度口罩。步進器單元由多個元件組成，包括聲光調制器（AOM）、目標鏡頭機（OLS）、步進器級和偏振級。AOM專為快速高效的掩模制造而設計,而OLS提供了更高的成像精度和性能。步進級可確保過程執行過程中穩定、準確的運動,而偏振級則可通過優化步進級刀具校準來提高整體性能。資產的HxP工藝結合了三步法的光刻膠圖樣。首先,將初始電路布局印在晶片上。接下來,將晶片傾斜以創建一個均勻的場與場間隙,這有助於在下一步中最小化曝光時間。最後，利用激光掃描技術進行光掩模曝光，以保證質量和準確性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 5專為吞吐量和精確度而設計,優化了工藝精度,在高縱橫比和垂直結構上均提供了統一而準確的結果。該模型是自動化的,具有內置的圖像調整功能,例如基於配方的圖像模式優化。此外,該設備還具有一個基於庫的數據庫,允許用戶存儲已知的配方,以便快速輕松檢索。Clean Track Mark 5除了具有先進的特性和精確的圖案外，還以安全為重中之重進行了設計。它利用獨特的集塵系統，以最大程度的安全，防止危險顆粒堆積在潔凈室工作區。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 5是一款先進的光刻裝置，設計目的是為用戶提供精確、精確以及增強的安全性。其獨特的HxP流程確保了統一和最佳的結果,而其自動化功能和基於庫的數據庫使計算機既方便用戶又高效。